四氟化硅(卷名：化学)
silicon tetrafluoride
化学式SiF4。无色有毒气体；熔点－90.2℃（1.73大气压），密度4.69克／升，固体SiF4在－95.5℃升华。四氟化硅在湿空气中因水解而产生烟雾。在冷冻下加压可凝成无色液体。四氟化硅较稳定，干燥时不腐蚀玻璃；潮湿时水解成硅酸凝胶和氢氟酸：
SiF4+4H2O─→H4SiO4+4HF氢氟酸能腐蚀玻璃，也能与四氟化硅结合成六氟硅酸：
SiF4+2HF─→H2SiF6四氟化硅也易被碱溶液分解：
四氟化硅可由单质之间反应制得：
Si+2F2─→SiF4也可由石英与氢氟酸反应，或由萤石粉和石英砂的混合物与浓硫酸作用来制得：
SiO2+4HF─→SiF4+2H2O
将氟硅酸盐热分解可得纯四氟化硅：