出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 单轴应变 |
| 释义 | 单轴应变 单轴应变 应变硅制备技术中在一个方向上产生的应变。通过导入局部的单向的拉伸或压缩应力到金属-氧化层半导体场效晶体管的沟道，提升晶体管沟道内的载流子迁移率。通常是工艺致应变，即在晶体管周围通过“局部”膜层引入应变为单轴应变。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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