出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
词条 | 缓变结 |
释义 | 缓变结 缓变结 全称“缓变pn结”。从p区到n区掺杂浓度逐渐改变的pn结。杂质浓度分布近似为线性分布的pn结称“线性缓变结”。大多数缓变pn结数学上可作为线性缓变结处理。通常由扩散工艺制备的pn结为缓变pn结,但在浅扩散结或高反偏时它更接近于单边突变pn结。 出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术 |
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