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词条 黏附层
释义
黏附层
黏附层  半导体工艺中为了增强薄膜与晶圆的附着能力而附加的沉积层。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2025/2/8 5:56:19