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| 词条 | 原子气相沉积 |
| 释义 | 原子气相沉积 原子气相沉积 基于脉冲液体注射的化学气相沉积工艺技术。液体前驱体（包含相变材料组分的前驱体）以微升级的小液滴脉冲被喷射到蒸发器。在惰性气体（氩、氮等）载气的作用下，在加热的蒸发器中得到气化的前驱体被载入反应腔单元，然后通过反应沉积薄膜。填充能力介于化学气相沉积和原子层沉积之间。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 信息储存材料 |
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