出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 扩展电阻法 |
| 释义 | 扩展电阻法 扩展电阻法 电学测量电阻率的方法之一。将样品粘贴在具有固定角度的垫块上，研磨出一个斜面，通过一对探针在斜面上按照一定的步距测量其扩展电阻值。可得到样品的电阻率纵向分布曲线，继而了解样品每一层的结构和载流子浓度分布。空间分辨率强。广泛用于外延片和集成电路图形片测试中，既可测量外延片纵向电阻变化，也可测量外延层厚度、过渡区宽度及夹层宽度等。参见“二探针法”。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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