出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
| 词条 | 反型层 |
| 释义 | 反型层 反型层 亦称“表面反型层”。半导体表面或界面处出现的导电类型与体内相反的薄层。在外电场作用下形成。例如，在p型硅表面生长了二氧化硅后，二氧化硅中靠近界面处常有一些正电荷，它们产生的电场，会吸引硅中的电子到界面而排斥掉空穴，于是在p型硅与二氧化硅界面处就可能出现一个n型的反型层。但在n型硅与二氧化硅界面，单靠二氧化硅中正电荷作用就不会产生反型层，只有在垂直于表面方向加一负电场，把硅中空穴吸引到界面而把电子排斥掉时，才能出现p型反型层。反型层常常是导致一些半导体器件性能劣化或失效的原因。另一方面，有控制地在半导体表面某些区域造成反型层，并改变其导电性能，又是制造场效应晶体管的依据。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术 |
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