出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 信息储存材料
| 词条 | 抛光液表面活性剂 |
| 释义 | 抛光液表面活性剂 抛光液表面活性剂 调整抛光液表面活性的试剂。分阳离子活性剂、阴离子活性剂、两性活性剂和非离子活性剂。通过调节活性剂对研磨颗粒表面进行改性，可调节抛光速率，同时有助于生成物的去除，从而避免抛光后表面有残留物质对器件性能一致性的影响。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 信息储存材料 |
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