出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
| 词条 | 可动离子沾污 |
| 释义 | 可动离子沾污 可动离子沾污 半导体材料中高度活动性的金属离子。当可动离子沾污引入硅片中时，在整个硅片中移动，严重损害器件电学性能和长期可靠性。未经处理过的化学品中的钠是典型的、最为普遍的可动离子沾污之一，人充当了其运送者。人体以液态形式包含了高浓度的钠（例如唾液、眼泪、汗液等）。在硅片加工中，须严格控制钠沾污。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术 |
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