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词条 俄歇电子能谱
释义
俄歇电子能谱
俄歇电子能谱  一种表面科学和材料科学的分析技术。因主要借由俄歇效应进行分析,故名。俄歇效应由法国物理学家俄歇(Pierre Victor Auger,1899—1993)于1925年发现,指产生于受激发的原子的外层电子跳至低能阶所放出的能量被其他外层电子吸收而使后者逃脱离开原子的过程。逃脱的电子称“俄歇电子”。由俄歇电子能谱可研究原子、分子和物质的结构和性质。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体测试技术
俄歇电子能谱  简称“AES”。来自原子的俄歇电子按能量的分布。1925年法国物理学家俄歇(PierreAuger)发现:原子内壳层电离时,留下的空位由原子内较高能量的电子来填补,但这时可以不发出辐射而把多余的能量交给另一个电子,使之激发到原子外面,成为自由电子。这电子称为“俄歇电子”,其能量主要取决于被激发原子的性质,也依赖于该原子所处的环境。因此,从测量一个物体的俄歇电子能量谱,可以确定该物体是由什么原子组成的。由于只有来自物体表面一层的俄歇电子才可探测,俄歇电子能谱便成为一种灵敏的物体表面成分分析方法。已广泛用于检测和分析钢铁、有色金属、半导体、催化剂和各种介质薄膜的成分。
出处:数理化力学卷 • 物  理 • 固体物理学
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更新时间:2025/2/8 2:02:28