出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 词条 | 同质外延 |
| 释义 | 同质外延 同质外延 外延层和衬底是同种材料的外延。由于只涉及一种材料，其点阵类型和晶格常数没有变化，因而在薄膜沉积的界面上一般不会引起晶格应变。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 同质外延 外延层与衬底具有相同或相近的化学组成，但两者中掺杂剂或掺杂浓度不同的外延。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 砷化镓和磷化铟基化合物半导体材料 |
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