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词条
接触孔
释义
接触孔
信息科学卷
接触孔
第一层互连金属线与器件有源区之间的连接孔。孔内填入互连金属。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2025/6/27 22:54:14