“接触式光刻”的意思、由来-百科全书

词条	接触式光刻
释义	接触式光刻信息科学卷接触式光刻　　曝光时，掩模版直接与光刻胶层接触的光刻技术。优点是曝光出来的图形与掩模版上的图形分辨率相当，设备简单。缺点有：光刻胶会污染掩模版，且掩模版容易磨损，寿命很短（只能使用5～25次）；分辨率较低，精确度只有0.5微米。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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