“掩模版”的意思、由来-百科全书

词条	掩模版
释义	掩模版信息科学卷掩模版　　简称“掩膜”。在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光刻胶涂层选择性曝光，将图形转印到硅片表面的一种结构。图形由不透光区域决定的称“亮场掩模版”，由透光区域决定的称“暗场掩模版”。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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