出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体测试技术
| 词条 | 电子能量损失谱 |
| 释义 | 电子能量损失谱 电子能量损失谱 一种重要的表面分析技术。电子束入射固体表面后，在表面区受到电子、声子及等离子激元等元激发的非弹性散射而损失能量，收集分析这些非弹性散射电子便能获知相关元激发的信息。电子能量损失谱能有效地分析表面声子谱的结构。由于一般声子能量较低，用于分析声子的初级电子能量也很低，通常仅为10电子伏量级，因而对谱仪的技术要求很高。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体测试技术 电子能量损失谱 简称“ELS”。一种重要的表面分析技术。电子束入射固体表面后,在表面区受到电子、声子及等离子激元等元激发的非弹性散射而损失能量,收集分析这些非弹性散射电子便能获知相关元激发的信息。电子能量损失谱能有效地分析表面声子谱的结构。由于一般声子能量较低,用于分析声子的初级电子能量也很低,通常仅为10电子伏量级,因而对谱仪的技术要求很高。 出处：数理化力学卷 • 物 理 • 固体物理学 |
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