“射频等离子体化学气相沉积”的意思、由来-百科全书

射频等离子体化学气相沉积　　利用射频等离子体激活气相反应进行化学气相沉积的方法。为了产生射频等离子体，必须对反应室加上射频电磁场。反应室压强保持在0.13×106帕左右。在射频电磁场作用下，自由电子的运动引起反应物气体分子的电离，产生等离子体，由此降低化学反应的势垒，使一些难以进行的化学反应变得容易。衬底和等离子体之间加有偏压，可诱导在衬底上沉积。

出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性

词条	射频等离子体化学气相沉积
释义	射频等离子体化学气相沉积材料科学卷射频等离子体化学气相沉积　　利用射频等离子体激活气相反应进行化学气相沉积的方法。为了产生射频等离子体，必须对反应室加上射频电磁场。反应室压强保持在0.13×106帕左右。在射频电磁场作用下，自由电子的运动引起反应物气体分子的电离，产生等离子体，由此降低化学反应的势垒，使一些难以进行的化学反应变得容易。衬底和等离子体之间加有偏压，可诱导在衬底上沉积。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
随便看	陆柬之陆标定位陆桥陆桥说陆桥运输陆梁陆棚陆楫陆次云陆水风景名胜区陆沉陆河陆治陆法言陆浑之戎陆浑关陆浑县陆海陆海潘江陆海联运陆润庠陆深陆淳陆渊雷陆游