“射频等离子体化学气相沉积”的意思、由来-百科全书

射频等离子体化学气相沉积　　利用射频等离子体激活气相反应进行化学气相沉积的方法。为了产生射频等离子体，必须对反应室加上射频电磁场。反应室压强保持在0.13×106帕左右。在射频电磁场作用下，自由电子的运动引起反应物气体分子的电离，产生等离子体，由此降低化学反应的势垒，使一些难以进行的化学反应变得容易。衬底和等离子体之间加有偏压，可诱导在衬底上沉积。

出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性

词条	射频等离子体化学气相沉积
释义	射频等离子体化学气相沉积材料科学卷射频等离子体化学气相沉积　　利用射频等离子体激活气相反应进行化学气相沉积的方法。为了产生射频等离子体，必须对反应室加上射频电磁场。反应室压强保持在0.13×106帕左右。在射频电磁场作用下，自由电子的运动引起反应物气体分子的电离，产生等离子体，由此降低化学反应的势垒，使一些难以进行的化学反应变得容易。衬底和等离子体之间加有偏压，可诱导在衬底上沉积。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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