出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体测试技术
| 词条 | 四探针法 |
| 释义 | 四探针法 四探针法 测量半导体电阻率的一种常用方法。将等间隔直线排列的四个金属探针垂直压在任意形状半导体样品表面，使电流从两个外探针间通过，测量两个内探针间的电位差，依据一定的公式和修正方法可得出半导体的电阻率。具有设备简单、操作方便、精确度高、对样品的几何尺寸无严格要求等优点。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体测试技术 四探针法 电学测量电阻率的方法之一。将等间隔直线排列的四个金属探针垂直压在任意形状半导体样品表面，使电流从两个外探针间通过，测量两个内探针间的电位差，再据一定的公式和修正方法可得出半导体的电阻率。在半导体工艺中广泛采用的标准方法。具有操作简便、精确度高、对样品的几何尺寸无严格要求等优点。参见“二探针法”。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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