出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 词条 | 固相外延 |
| 释义 | 固相外延 固相外延 一种半导体薄膜材料的制备方法。是半导体单晶上的非晶层在低于该材料的熔点或共晶点温度下外延再结晶的过程。是以蒸发工艺为基础，在研究产生理想欧姆接触材料过程中发展起来的制备单晶薄膜材料的新工艺。具有外延温度低（约600℃）、生长层平整均匀、沾污少和纯度高等优点。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 固相外延 单晶衬底上的非晶层，在远低于单晶材料熔点或共晶的温度下，再结晶的外延生长方法。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 砷化镓和磷化铟基化合物半导体材料 |
| 随便看 |
百科全书收录258893条中英文百科知识，基本涵盖了大多数领域的百科知识，是一部内容开放、自由的电子版百科全书。