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词条 直拉单晶硅
释义
直拉单晶硅
直拉单晶硅  用直拉法制成的单晶硅。单晶的直径最大已达450毫米,商品单晶的直径已达300毫米。主要用于制作大规模或超大规模集成电路、分立器件和太阳能电池。有的直接制作在晶片上,有的制作在以它的抛光片做衬底的外延片上。其表征有晶向、掺杂剂种类及导电类型、电阻率及径向均匀度、氧含量及径向均匀度、碳含量、微缺陷等。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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更新时间:2025/2/8 6:14:09