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词条 直拉砷化镓单晶
释义
直拉砷化镓单晶
直拉砷化镓单晶  采用液封直拉技术生长的砷化镓单晶。占砷化镓单晶总产量的30%~40%。有不同掺杂浓度的p型(一般掺锌)、n型(一般掺碲)、半绝缘(非掺杂或掺铬)材料。制备工艺特点是生长速率较快,易于直接拉制出所需晶向的圆柱形单晶,其位错密度一般为104厘米-2,重掺杂情况下可降至102~103厘米-2。用于制造超高速集成电路、窗口材料及光电器件的衬底。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 砷化镓和磷化铟基化合物半导体材料
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更新时间:2025/3/14 16:02:30