“直流三极溅射”的意思、由来-百科全书

词条	直流三极溅射
释义	直流三极溅射材料科学卷直流三极溅射　　采用直流电源，在二极溅射的基础上，增加一个发射热电子的热阴极，形成直流三极的溅射镀膜方法。若再另设一电子收集极，则为四极溅射镀膜。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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