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直流三极溅射
释义
直流三极溅射
材料科学卷
直流三极溅射
采用直流电源,在二极溅射的基础上,增加一个发射热电子的热阴极,形成直流三极的溅射镀膜方法。若再另设一电子收集极,则为四极溅射镀膜。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2025/6/6 6:48:57