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| 词条 | 真空离子镀 |
| 释义 | 真空离子镀 真空离子镀 亦称“真空离子沉积”。物理气相沉积法中的一种表面镀覆技术。主要特征是在蒸发源与被镀工件之间存在一个低压等离子区,当蒸发分子(或原子)通过时,产生部分电离,从而增加粒子到达工件的速度、能量及碰撞几率,使沉积效率、膜层与工件的结合力及膜层质量有较大幅度的提高。用于制备各种耐磨、耐蚀及装饰性膜层及光学、磁性、微电子、超导等功能薄膜。 出处：机械电气卷 • 机械工程 • 机械制造 • 焊 接 |
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