出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 发光和显示材料
| 词条 | 真空蒸发法 |
| 释义 | 真空蒸发法 真空蒸发法 在真空状态下将加热蒸发的材料沉积在基片上的工艺。是历史最早、使用最普遍的薄膜制备方法。制备工艺简单，制备薄膜范围广，广泛用于半导体发光膜的制备中。其设备一般有三部分组成：（1） 真空室；（2） 蒸发源或蒸发加热装置；（3） 放置基片及给基片加热装置。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 发光和显示材料 |
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