出处：材料科学卷 • 无机非金属材料 • 涂层
| 词条 | 超硬涂层 |
| 释义 | 超硬涂层 超硬涂层 维氏硬度大于40吉帕的固体涂层材料。硬度高，摩擦因数和热膨胀系数低，热导率高，与基体的相容性好，光透过率高、空穴的可移动性及化学稳定性优异，禁带宽度大。用作机械轴承、刀具和模具的保护膜，光学器件的增透膜以及半导体器件等。常见涂层材料有金刚石膜、立方氮化硼薄膜、碳氮膜和钛氮-硅氮薄膜等。 出处：材料科学卷 • 无机非金属材料 • 涂层 |
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