出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
| 词条 | 超高真空电子束蒸发法 |
| 释义 | 超高真空电子束蒸发法 超高真空电子束蒸发法 超高真空条件下进行电子束蒸发镀膜的技术。在电子束蒸发时，沉积速率可通过四极质谱仪进行监控，薄膜的厚度采用石英晶振法测定，四极质谱仪还可进行残余气体检测。配备有高能反射电子衍射仪，可对薄膜的生长过程进行检测。 出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性 |
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