“旋转涂胶”的意思、由来-百科全书

词条	旋转涂胶
释义	旋转涂胶信息科学卷旋转涂胶　　光刻工艺中，在硅片上涂覆光刻胶的一种方法。把硅片放在吸盘上，将一定量的光刻胶滴在硅片上，然后快速旋转硅片使光刻胶以离心力向外扩展，从而得到一层均匀的光刻胶。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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