“短沟道效应”的意思、由来-百科全书

词条	短沟道效应
释义	短沟道效应信息科学卷短沟道效应　　金属-氧化物-半导体场效应晶体管（MOSFET）的沟道长度减小到一定程度后出现的一系列物理效应。包括：阈值电压随沟道长度降低而降低；载流子速度饱和效应；影响器件寿命的热载流子效应等。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
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