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词条 阴极溅射
释义
阴极溅射
阴极溅射  借助高压下阴极金属微粒的溅射而在工件表面沉积镀层的方法。在装有一对电极的高真空容器内,将镀件置于阴极附近,施加1000~3000伏高压电时,两极间产生辉光放电,真空容器中残余的气体分子离解成正离子和电子,正离子疾趋阴极,轰击阴极金属表面,使金属以微粒状态向周围溅射而沉积在镀件上。主要用于在非导体表面上覆盖金属薄膜。
出处:化工轻工纺织卷 • 轻  工 • 电  镀
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更新时间:2025/5/11 0:28:17