“砷化镓外延片”的意思、由来-百科全书

词条	砷化镓外延片
释义	砷化镓外延片材料科学卷砷化镓外延片　　在特定晶向砷化镓单晶衬底上外延生长的砷化镓单晶薄层材料。外延工艺有液相外延、气相外延、金属有机物化学气相沉积、分子束外延、化学束外延、原子层外延等。出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 砷化镓和磷化铟基化合物半导体材料
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