出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 硅外延片 |
| 释义 | 硅外延片 硅外延片 在单晶衬底上连续生长的硅单晶薄膜。分为同质外延片和异质外延片。前者的衬底为硅抛光片，后者的衬底为蓝宝石、尖晶石等。对外延片的要求有衬底的掺杂剂种类、浓度、晶向；外延层的电阻率及均匀性；外延层的厚度及均匀性；过渡层厚度；外延层的晶体缺陷如位错、层错；外延层表面质量；图形畸变等。通常使用化学气相外延等方法制备。用于制作集成电路、晶体管、电子电力器件等。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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