“硅烷法”的意思、由来-百科全书

词条	硅烷法
释义	硅烷法信息科学卷硅烷法　　将硅烷通入以多晶硅晶种作为流化颗粒的流化床中，使硅烷裂解并在晶种上沉积，从而得到颗粒状多晶硅的方法。主要目的是降低多晶硅的生产能耗和成本。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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