请输入您要查询的百科知识:
词条
硅烷法
释义
硅烷法
信息科学卷
硅烷法
将硅烷通入以多晶硅晶种作为流化颗粒的流化床中,使硅烷裂解并在晶种上沉积,从而得到颗粒状多晶硅的方法。主要目的是降低多晶硅的生产能耗和成本。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
随便看
谢才系数
谢扶民
谢扶雅
谢拉·奥雷尔利
谢拉·门德斯
谢拉皮翁兄弟
谢持
谢斯起义
谢无量
谢时臣
谢晋元
谢朓
谢木斯丁
谢枋得
谢林
谢根
谢榛
谢步
谢氏南征记
谢水节
谢池春
谢泼特引理
谢混
谢添
谢清高
百科全书收录258893条中英文百科知识,基本涵盖了大多数领域的百科知识,是一部内容开放、自由的电子版百科全书。
Copyright © 2004-2023 Newdu.com All Rights Reserved
更新时间:2025/5/10 5:33:12