出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 硅烷法多晶硅 |
| 释义 | 硅烷法多晶硅 硅烷法多晶硅 硅烷经提纯、热分解制成的多晶硅材料。硅烷包括硅的各种氢化物，无腐蚀性，热分解成硅的效率近100％。经进一步提纯后，热分解成多晶硅。工艺优点是纯度高，多晶硅中的硼含量比西门子法多晶硅低一个数量级；且结构致密，但过程难控制。硅烷在流态化床内制成颗粒状多晶硅，其平均粒径约为700微米，适合于连续直拉单晶硅（CZ-Si）的生长。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
| 随便看 |
百科全书收录258893条中英文百科知识，基本涵盖了大多数领域的百科知识，是一部内容开放、自由的电子版百科全书。