“气相外延”的意思、由来-百科全书

词条	气相外延
释义	气相外延信息科学卷气相外延　　一种单晶薄层生长方法。是在含有外延生长所需原子的化合物的气相环境中，通过一定方法获取外延所需的生长原子，使其按规定要求排列而生成外延层的工艺。用于半导体器件和集成电路的工业化生产。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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