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气相外延
释义
气相外延
信息科学卷
气相外延
一种单晶薄层生长方法。是在含有外延生长所需原子的化合物的气相环境中,通过一定方法获取外延所需的生长原子,使其按规定要求排列而生成外延层的工艺。用于半导体器件和集成电路的工业化生产。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2025/6/20 23:59:53