“气相外延法”的意思、由来-百科全书

词条	气相外延法
释义	气相外延法材料科学卷气相外延法　　通过气相沉积到基片上并形成单晶的晶体生长方法。有开管和闭管两种方式，半导体材料制备中的硅外延和砷化镓外延，多半采用开管外延方式。主要用于制备单晶膜材料或层状材料。出处：材料科学卷 • 无机非金属材料 • 晶体
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