出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体材料
| 词条 | 硼磷硅玻璃 |
| 释义 | 硼磷硅玻璃 硼磷硅玻璃 掺杂硼和磷的硅氧化层。与磷硅玻璃一样，在高温下的流动性较好，广泛用作半导体芯片表面的层间绝缘膜。磷硅玻璃要求的回流温度高约1100℃，高温处理易引起杂质浓度再扩散和硅片变形，增加磷的含量可降低回流温度，但会影响膜的稳定性和可靠性。因此出现了掺硼的硼磷硅玻璃来代替磷硅玻璃，硼的作用是降低回流温度。回流温度随硼的增加而下降，但硼的含量增加使抗潮能力减弱，因此硼的含量要适当。一般硼磷硅玻璃中，硼和磷各占4%。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体材料 |
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