出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
| 词条 | 磁控溅射离子镀 |
| 释义 | 磁控溅射离子镀 磁控溅射离子镀 将磁控溅射和离子镀结合起来的镀膜工艺。其原理是：在真空室充入氩气，并在磁控溅射靶材上施加负偏压，氩离子在电场作用下轰击靶面，被溅射出来膜料原子向工件迁移过程中部分被电离，并在基板负偏压作用下加速运动，最终在工件上沉积成膜。 出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性 |
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