出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 磁控直拉硅单晶 |
| 释义 | 磁控直拉硅单晶 磁控直拉硅单晶 熔体在外加磁场作用下拉制出的硅单晶。具有氧含量可控，杂质条纹轻，微缺陷密度低，晶体参数得到改善等特性。半导体熔体都是良导体，对熔体施加磁场，熔体会受到与其运动方向相反的洛伦兹力作用，可阻碍熔体中的对流，这相当于增大了熔体中的黏滞性。采用磁控直拉技术可减少熔体中的温度梯度，提高晶体中杂质分布的均匀性，提高晶体的径向电阻分布均匀性，降低单晶中的缺陷密度，提高晶体的纯度。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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