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词条 晶圆清洗
释义
晶圆清洗
晶圆清洗  将晶圆在不断被加工成形及抛光处理的过程中,由于与各种有机物、粒子及金属接触而产生的污染物清除的工艺。是晶圆制造过程中的一个重要工艺步骤。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2025/2/8 0:49:07