“晶圆清洗”的意思、由来-百科全书

词条	晶圆清洗
释义	晶圆清洗信息科学卷晶圆清洗　　将晶圆在不断被加工成形及抛光处理的过程中，由于与各种有机物、粒子及金属接触而产生的污染物清除的工艺。是晶圆制造过程中的一个重要工艺步骤。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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