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词条 晶格失配度
释义
晶格失配度
晶格失配度  描述衬底与外延膜晶格匹配程度的参量。晶格失配影响晶体的外延生长,会在外延层中产生大量缺陷,甚至无法生长单晶,影响器件的性能和寿命。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 宽带隙半导体材料
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更新时间:2025/2/8 0:58:12