“填充塞”的意思、由来-百科全书

词条	填充塞
释义	填充塞信息科学卷填充塞　　在集成电路互连通孔中填充的用于连通的金属薄膜。常用的为钨，称“钨塞”。钨具有均匀填充高深宽比通孔的能力，抗电子迁移率好，故用作填充材料。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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