“填充能力”的意思、由来-百科全书

词条	填充能力
释义	填充能力信息科学卷填充能力　　一般指间隙（如槽或孔）填充能力。间隙一般通过深宽比来衡量，深宽比越高，间隙的填充越难。而对于不同的材料，其对间隙的填充能力不同。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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