“过腐蚀”的意思、由来-百科全书

词条	过腐蚀
释义	过腐蚀信息科学卷过腐蚀　　刻蚀工艺过程中，由于操作不当或者工艺技术不成熟造成的样品过度腐蚀的现象。一般通过优化工艺来避免。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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