“氧化层错”的意思、由来-百科全书

词条	氧化层错
释义	氧化层错材料科学卷氧化层错　　晶体表面存在机械损伤、杂质沾污和微缺陷（如氧沉淀）等时，在热氧化过程中其近表面层长大或转化的层错。硅热氧化层错是在硅器件热氧化工艺中产生的一种二次缺陷。出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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