“离子束加热”的意思、由来-百科全书

词条	离子束加热
释义	离子束加热信息科学卷离子束加热　　利用常压气体中电弧放电产生等离子体，压缩成高温高速等离子体束，轰击物体进行加热的工艺。加热速度快，热效率高。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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