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词条 离子束加热
释义
离子束加热
离子束加热  利用常压气体中电弧放电产生等离子体,压缩成高温高速等离子体束,轰击物体进行加热的工艺。加热速度快,热效率高。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2025/6/6 7:41:57