出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
| 词条 | 离子束增强沉积 |
| 释义 | 离子束增强沉积 离子束增强沉积 薄膜沉积的同时，用一定能量的离子束进行轰击，以在衬底上形成具有特定性能表面层的技术。沉积和注入参数可精确独立调节；可在较低的轰击能量下，连续生长组分一致的薄膜；可在室温下生长，避免高温对材料及精密零件尺寸的影响；在膜和衬底界面形成连续的混合层，提高黏着力。从薄膜合成过程来分，有些是以物理效应为主的薄膜合成，也有些是以化学效应为主的薄膜合成。还可用来合成梯度功能薄膜、智能材料薄膜等新材料。 出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性 |
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