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离子束掺杂
释义
离子束掺杂
材料科学卷
离子束掺杂
把某种元素的离子经高压电场加速后强行注入半导体材料表面,改变半导体载流子密度,实现半导体掺杂效果的方法。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2025/6/27 14:22:17