“离子束沉积”的意思、由来-百科全书

词条	离子束沉积
释义	离子束沉积机械电气卷离子束沉积　　金属表面涂层技术之一。属气相沉积方法。用离子源将用作沉积的材料离子化,在电场作用下射向工件(基材)表面沉积成膜层。目的是改变工件表面性能。出处：机械电气卷 • 机械工程 • 机械制造 • 热处理
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