出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
| 词条 | 离子束混合 |
| 释义 | 离子束混合 离子束混合 离子束与薄膜技术相结合的表面技术。在沉积的膜层和基底之间，或者在膜层和膜层之间，使用惰性气体离子束轰击，通过原子间的碰撞相互混合，从而形成均匀成分的合金相。是一个远离平衡态的过程，合金元素动态引入，离子束参数可调可控。应用于亚稳态合金的形成研究。离子束作用于膜层与基底之间的离子束混合，亦称“反冲注入”。 出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性 |
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