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离子束辅助沉积
释义
离子束辅助沉积
材料科学卷
离子束辅助沉积
亦称“离子束增加沉积”。将离子注入与物理气相沉积相结合的复合表面离子处理技术。在物理气相沉积的同时,进行离子束轰击混合,以提高膜层的质量和性能。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2025/7/26 20:01:03