“离子束辅助沉积”的意思、由来-百科全书

词条	离子束辅助沉积
释义	离子束辅助沉积材料科学卷离子束辅助沉积　　亦称“离子束增加沉积”。将离子注入与物理气相沉积相结合的复合表面离子处理技术。在物理气相沉积的同时，进行离子束轰击混合，以提高膜层的质量和性能。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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