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词条 外延
释义
外延
外延  概念中所反映的具有某些特有属性的对象。即概念所指的一切事物。如:“人”这一概念的外延是古今中外所有的人。
出处:哲学卷 • 逻 辑 学 • 传统逻辑
外延  一种生长单晶的方法。在一片单晶材料(称“衬底”)上,沿着其原来的结晶轴方向,再生长一层单晶。由于这样的单晶层如同由衬底向外延拓,故名。生长上去的材料可以与衬底相同,也可以不同,一般都是由气相或液相化学反应产生的。是制造半导体集成电路和许多其他半导体器件的重要工艺。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
外延  一种生长单晶的方法。是在一片单晶材料(称为“衬底”)上,沿着其原来的结晶轴方向,再生长一层单晶的工艺。由于这样的单晶层好像是衬底向外延拓,故名。生长上去的材料可以与衬底相同,也可以不同,一般都是由气相或液相化学反应产生的。外延是制造半导体集成电路、平面型晶体管和许多其他半导体器件的重要工艺,外延层的质量对器件性能有很大的影响。
出处:数理化力学卷 • 物  理 • 固体物理学
外延  在单晶衬底上沿晶向生长具有预定参数的单晶薄膜的方法。根据衬底材料与外延材料的化学组分和晶胞参数可分为同质外延和异质外延。前者外延材料与衬底材料相同,如在硅片上外延生长硅;后者外延材料与衬底材料组分不同,如在硅片上外延生长砷化镓。生长方法主要有:分子束外延、金属有机化合物气相沉积、液相外延、气相外延。是制备集成电路、高速电子器件、光电器件用薄膜材料的关键技术。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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更新时间:2025/6/20 13:53:30